BALLUFF位移傳感器,供應(yīng)BALLUFF位移傳感器
位移是和物體的位置在運(yùn)動(dòng)過(guò)程中的移動(dòng)有關(guān)的量,位移的測(cè)量方式所涉及的范圍是相當(dāng)廣泛的。小位移通常用應(yīng)變式、電感式、差動(dòng)變壓器式、渦流式、霍爾傳感器來(lái)檢測(cè),大的位移常用感應(yīng)同步器、光柵、容柵、磁柵等傳感技術(shù)來(lái)測(cè)量。其中光柵傳感器因具有易實(shí)現(xiàn)數(shù)字化、精度高(目前分辨率zui高的可達(dá)到納米)、抗干擾能力強(qiáng)、沒(méi)有人為讀數(shù)誤差、安裝方便、使用可靠等優(yōu)點(diǎn),在機(jī)床加工、檢測(cè)儀表等中得到日益廣泛的應(yīng)用。
編輯本段原理
計(jì)量光柵是利用光柵的莫爾條紋現(xiàn)象來(lái)測(cè)量位移的。“莫爾”原出于法文Moire,意思是水波紋。幾百 位移傳感器
年前法國(guó)絲綢工人發(fā)現(xiàn),當(dāng)兩層薄絲綢疊在起時(shí),將產(chǎn)生水波紋狀花樣;如果薄綢子相對(duì)運(yùn)動(dòng),則花樣也跟著移動(dòng),這種奇怪的花紋就是莫爾條紋。般來(lái)說(shuō),只要是有定周期的曲線(xiàn)簇重疊起來(lái),便會(huì)產(chǎn)生莫爾條紋。計(jì)量光柵在實(shí)際應(yīng)用上有透射光柵和反射光柵兩種;按其作用原理又可分為輻射光柵和相位光柵;按其用途可分為直線(xiàn)光柵和圓光柵。下面以透射光柵為例加以討論。 透射光柵尺上均勻地刻有平行的刻線(xiàn)即柵線(xiàn),a為刻線(xiàn)寬,b為兩刻線(xiàn)之間縫寬,W=a+b稱(chēng)為光柵柵距。目前國(guó)內(nèi)常用的光柵每毫米刻成10、25、50、100、250條等線(xiàn)條。光柵的橫向莫爾條紋測(cè)位移,需要兩塊光柵。塊光柵稱(chēng)為主光柵,它的大小與測(cè)量范圍相*;另塊是很小的塊,稱(chēng)為指示光柵。為了測(cè)量位移,必須在主光柵側(cè)加光源,在指示光柵側(cè)加光電接收元件。當(dāng)主光柵和指示光柵相對(duì)移動(dòng)時(shí),由于光柵的遮光作用而使莫爾條紋移動(dòng),固定在指示光柵側(cè)的光電元件,將光強(qiáng)變化轉(zhuǎn)換成電信號(hào)。由于光源的大小有限及光柵的衍射作用,使得信號(hào)為脈動(dòng)信號(hào)。如圖 1,此信號(hào)是直流信號(hào)和近視正弦的周期信號(hào)的疊加,周期信號(hào)是位移x的函數(shù)。每當(dāng)x變化個(gè)光柵柵距W,信號(hào)就變化個(gè)周期,信號(hào)由b點(diǎn)變化到b’點(diǎn)。由于bb’=W,故b’點(diǎn)的狀態(tài)與b點(diǎn)狀態(tài)*樣,只是在相位上增加了2π。
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